在生产铸锭多晶硅设备上,很多个组件都是需要石墨材料的,特别是铸锭炉加热器中使用的加热材料-高纯石墨,以及用到的隔热结构材料-高纯碳毡隔热材料,都是目前铸锭多晶硅生产设备中重要的、必不可少的配套工程材料。
由于炉加热器锭的加热温度高(超过1600℃),需要一个不能与硅材料反应,硅材料不造成污染,长期使用在真空和惰性气体气氛中的加热材料。符合这种使用环境条件的加热器有金属钨、钼和非金属石墨等。由于钨、钼价格昂贵,加工困难,而石墨来源广泛,可加工成各种形状。此外,石墨还具有低的热惯性,快速加热,高温,耐热冲击性,大的散热面积,热效率高,基本性能稳定性的特性。
隔热材料铸锭炉加热器有严格的要求。必须是耐高温、密度低、导热小、蓄热量少、隔热作用效果好、放气量少、重量轻、膨胀风险系数小的材料。所以石墨材料发展已成企业为了铸锭炉加热器中首选的加热材料
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